产品介绍：

• 反应舱：    材料：铝
      有效尺寸：300 x 300 x 300mm
      容积：27升
      舱门：装有可视窗口
      托盘：3个。尺寸：205 x 260 x 40mm

• 真空度测量：
      皮拉尼真空计（利用电阻丝随温度的变化而电阻随之变化的原理来测量的，而电阻丝温度的变化又与其周围气体的热导率有关）
• 真空泵：
     旋片式真空泵；20m³ 每小时。
• 频射发生器：
      0~300w可调，100KHZ发生器
• 控制系统：
      触摸屏操作，PLC控制系统
      PLC可实现下列功能：
           1、自动控制反应过程；
  ?       2、根据处理材料设定不同的处理工艺流程；
  ?       3、测定真空泵压力、抽真空时间、充气速度、工作压力、处理时间、温度、频射发生器输入电压等指标；
  ?       4、监测所有的运行指标，保证在设定范围之内；
  ?       5、 设定操作、维护密码。
• 电源：
       380V AC、三相、50Hz、40A.
• 反应气体：
      一个气体输入端口，含气体流量控制器（MFC）；根据用户需要，可扩展
• 气体输入：
      直径1/4英寸（0.645厘米）管道；输入压力：1Bar.
• 尾气排放：
      直径28mm 输出端口。
• 安全性能：
      急停开关；真空泵保护锁；高温保护锁；CE安全。

可选件：

• 频射发生器：2.45GHZ, 13.56MHZ 
• 多个气体输入管道。
• 根据客户工艺要求制作的软件程序
• 根据客户要求制作的托盘。
• 辊轮式载料系统。 
• N₂ Purge.