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电容式硅片厚度测量方案
价格：电议
地区：广东省
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类型MTI品牌MTI电容
型号电容式位移传感器测量0.1um

性价比电容式硅片厚度测量发方案，详情联系，姚先生


 

 

MTI AS-9000 纳米级超高电容式传感器
高分辨率：纳米级 响应频率：5KHz  

特性：
AS-9000是具有超高、稳定性、重复性和分辨率的电容式传感器。其反应速度快，噪声干扰小，是检测转轴、磁盘、轮胎及晶圆的理想选择。
AS-9000价格经济、功能超强！
AS-9000能对极难检测的微小物体进行检测，且检测能力好上40倍。 
AS-9000具备纳米分 辨率,他重量轻、体积小、可随身携带，操作快速简便。 
 

                   详细资料:

 
欢迎进入：https://www.mtiinstruments.com  其它重要特性：
■探头感应输出1uin/mV
■较大间隙距离安全检测
■非接触良好检测性能
■被动式电容探头具有特别的温度稳定性
■准时、在线检测至5kHzAS-9000能与所有规格的探头配合使用。单信道模式适合简单的位移及震动检测，双信道模式适合厚度及要求较高的检测。两种模式都能快速、简洁的提供仿真/数字系统、探头位移曲线图显示器、位置偏移/校正系统]自动电源开关。双信道模式还能提供总数值输出或不同数值输出。

应用范围：
AS-9000适于半导体、磁盘驱动器、机械用具、电子工业
●位移、●厚度、●同轴度、●振动、●尺寸大小、●平坦度、
●内外径、●发动机动能

放大器规格：
直线性： +/-0.05% (10% ～ 100% 满量程或更好)；+/-0.1% （10% ～120%满量程或更好）
信号输出： BNC接口输出0～10Vdc的电压信号
补偿范围： 允许-10V～0Vdc的标准信号输出
输出电压稳定性： 0.002%满量程或更小；
尺寸：
长：9.5in(24cm)
宽：6.25in(16cm)
高：2.0in(5cm)
重：4lb(1.8 kg)
响应频率： 标准值500 Hz,更换滤波器可达10Hz,1kHz,2kHz及5kHz等
温度稳定性（30分钟暖机）： 
16～35℃时，漂移小于+/-0.1%满量程； 
4～40℃时，漂移小于+/-0.1%满量程
电源： 85～265VAC, 47～440Hz
条形图感度： 1 bar/V
求和/求差值输出：标准为-（A+B）/2 ；
通过跳线设置可选择（A+B），（A-B），-（A+B）和（A+B）/2		 
   
   
     
标准探头规格：(单位：mm) 

量程（mm）

感测直径

型号

长度
±0.762

探头直径
±0.0254

型号

长度
±0.762

探头直径
±0.0254

0.0254
0.0508
0.127
0.254
0.508
1.270

1.0693
1.5392
2.4689
3.5204
5.0038
7.9553

ASP-1-CTA
ASP-2-CTA
ASP-5-CTA
ASP-10-CTA
ASP-20-CTA
ASP-50-CTA

63.5
63.5
63.5
63.5
63.5
63.5

0.250
0.250
0.250
0.250
0.437
0.625

ASP-1-ILA
ASP-2-ILA
ASP-5-ILA
ASP-10-ILA 
ASP-20-ILA
ASP-50-ILA

9.525
9.525
9.525
9.525
9.525
9.525

2.3622
2.8448
3.9624
5.5626
7.9248
13.8684

量程（mm）

感测直径

型号

长度
±0.762

探头直径
±0.0254

型号

长度
±0.762

探头直径
±0.0254

0.0254
0.0508
0.127
0.254
0.508
1.270

1.0693
1.5392
2.4689
3.5204
5.0038
7.9553

ASP-1-ILR
ASP-2-ILR
ASP-5-ILR
ASP-10-ILR ASP-20-ILR
ASP-50-ILR

9.525
9.525
9.525
9.525
9.525
9.525

2.3622
2.8448
3.9624
5.5626
7.9248
13.8684

ASP-1-PCR
ASP-2-PCR
ASP-5-PCR
ASP-10-PCR
ASP-20-PCR
ASP-50-PCR

2.54
2.54
2.54
2.54
2.54
2.54

2.3622
2.8448
3.9624
5.5626
7.9248
13.8684

 温度范围：
标准探头： -129℃～204℃
高温探头： -129℃～760℃
： +/-0.1% 满量程
电缆长度： 标准电缆长度为2.7米，可以定制其他规格
压力范围： 
标准-200psig
高压-20000psig附：电容位移传感器的分辨率（resolution）计算方法感度（sensitivity）=量程（range）/10V(full scale voltage)
噪音=1mv*开更号（Fr/500)(Fr为所选择的滤波器频率 )
分辨率(resolution)=感度（sensitivity）×噪音(noise)注意：Fr的选择要稍大于被测物实际振动频率
滤波器频率(Frequency Response filter)噪音(Noise in mVp-p)
10HZ0.150mv
50HZ0.316mv
100HZ0.447mv
500HZ1.000mv
1KHZ1.400mv
2KHZ2.000mv
5KHZ3.200mv
10KHZ4.500mv
20KHZ6.300mv