特点

 带有气体采样流量自动控制功能

 LCD显示，现场状态一目了然

 实现小型、轻量化

 可简单地更换传感器和采样气路

 带有防止传感器单元错误插入的功能

 可以设定多样的维护模式

 组合对应热分解单元与定电位电解式传感器，能检测NF3等

 实现了用PDA读取数据

 符合CE规格，SEMI规格

 规格

型号 

 PS-7

标准型 

 附带转换器组件型

检测原理 

 •定电位电解式、热丝型半导体式、隔膜电流电池式

•热分解+定电位电解式

采样方式 

 泵吸引式（0.5L/min吸引流量自动控制）

采样配管 

 特氟隆外径6内径4mm、配管距离在20m以内

气体浓度显示 

 液晶数字四位显示（附带单位）20分割条形图

  规格

报警接点 

 •气体报警（1段以及二级）报警、红色液晶指示灯闪烁、液晶画面第1段ALARM1第1段ALARM1 ALARM2显示

•流量降低报警堵塞指示显示：流量显示为低速运转报警：黄色LED指示灯闪烁：液晶画面FLOW显示以及流量显示为停止运转状态

•传感器故障报警/传感器误插入报警报警：黄色LED指示灯闪烁：液晶画面SENS.显示•热分解炉断线报警报警：黄色LED指示灯闪烁：液晶画面CONV.显示

外部输出 

 气体浓度模拟输出DC4~20mA（与电源的负极通用）气体报警接点（1段以及两极）1a无电压接点/自动复位故障报警接点（开路集电极/自动复位）

适合电缆线 

 控制用屏幕电缆线（Φ8~11mm）x2 3芯或者4芯使用温度湿度范围0℃~40℃（但是不能有剧烈的温度变化）、30~85%RH（但不能结露）

使用电源 

 DC24V±10%

消耗电力 

 约7w

尺寸 

 •W62xH124xD143mm(除去突起物)

•W62xH124xD143mm(除去选购件和突起物)

重量 

 约1.0kg

安装方法 

 壁挂式