日本KOSAKA ET4000探针式轮廓仪
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产品属性
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Kosaka ET4000探针式轮廓仪
ET4000具有高性、稳定性和重复性，可测量FPD、晶片、磁盘，和与纳米材料相关物件的表面特性、台阶高度和粗糙度等。坚固的花岗岩材料铸成的机身框架以及支撑部件显著提高了仪器的重复，并降低了地板噪音对测量的干扰。ET4000为满足用户不同应用方向的需要提供了多种可选配置，通过选配三维成像附件套装还可以极大地扩充仪器的功能。 主要特点：1. 具有的台阶高度重复性5? (1σ)和线性度（垂直线性度：200nm以上为±0.25%；200nm以下为0.5nm）；2. 高分辨率，纵轴分辨率为0.1nm，横轴为0.01μm，可测量纳米级至几百微米级台阶高度；3. 超高直线度： 0.005μm/5mm，可测定微细表面形状、段差、平面度、粗度、应力分析等；4. 低测定力：采用直动力LVDT检出器，触针力在0.5μN～500μN范围可以任意调节，可测定软质材料； 5. 即时监控系统：配置标准CCD，可即时监控量测位置；还可选购Top View CCD，进行高定位量测； 6. 可扩充成三次元设备和追加三次元解析软件，观察样品全貌和测定台阶移动量； 7. 采用天然金刚石(R2μm)作为探头，经久耐用；产品参数：
型号 | ET | ET | ET | |
样品尺寸 | 300x | 210x | 300x | |
样品台 | 尺寸 | 320x | 220x | 540x |
X轴倾斜度 | ±1mm/150mm(机动倾斜） | |||
Y轴倾斜度 | —— | ±1mm/150mm(机动倾斜） | ||
承重 | ||||
检出器 | 力 | 0.5μN-500μN（0.05mgf-50mgf）可调节 | ||
范围 | 100μm | |||
驱动 | LVDT直动式（差动变压器） | |||
触针 | ET-1479(R2μm) | ET-1479(R2μm),ET-1480(R0.5μm) | ||
X轴 | 测长 | |||
直线度 | 0.005μm/ | |||
速度 | 0.005 | |||
重复性 | ±5μm（定位） | |||
Y轴 | 测长 | —— | ||
直线度 | —— | 5μm/ | ||
重复性 | —— | ±5μm（定位） | ||
Z轴 | 测长 | |||
放大倍数 | 垂直 | |||
水平 | 1-10000 | |||
3D | —— | 可选择 | ||
θ轴 | —— | 可选择 | ||
辅助功能 | 教学、机动倾斜、倾斜度分析、检出器自动停止功能等 | |||
监控系统 | 摄像装置 | 1/2 inch CCD (768x494像素） | ||
监视装置 | 视频捕捉板 | |||
应用 | 成像、台阶、粗糙度、波纹度和倾斜度 | |||
重复性 | 1σ0.5nm | |||
电源 | AC100V 800VA | |||
外观尺寸 | W660xD580xH | W930xD930xH | ||