多点式洁净度监测系统
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无论是航天器的组装、大规模集成电路的生产,还是精密机械、制药行业,洁净的环境都是必需的工艺条件。而每个工序点洁净度、温湿度等环境参数的实时监测,是保障生产场所环境满足工艺要求的一项关键技术。
利用单台激光尘埃粒子计数器和温湿度仪等移动测量周围环境参数,是国内常用的技术方法。而国际上新发展的是多点式洁净度监测系统,而江苏苏净集团适时研制开发了这一系列新产品。
苏州苏净仪器自控设备有限公司自主开发研制的在线多点洁净度、温湿度、风速、压差监测系统为国内,其主体为激光尘埃粒子计数器,软件系统包含多点数据采集、数据显示、数据分析、参数设置和超限报警等五大关键技术。
多点式洁净度监测系统使用新光学粒子技术,可在任意场所设置安装,真正实现在线监测(连续24hour×7day操作);同时测量所有通道数据,符合新版GMP、ISO14644、FDA、JIS标准;设备监视系统接口具有状态指示器,使大型设备监视/管理系统成为整体。
在线尘埃粒子计数器技术指标:
1. 符合尘埃粒子计数器标准: JJF1190-2008
2. 流 量:
3. 测试粒径:0.3μm,0.5μm,1.0μm,3.0μm,5.0μm,10μm(判别粒径为0.5μm,5.0μm)
4. 光源:激光二极管
5. 测试洁净度范围:100级~30万级
6. 信号传输距离:〈
7. 电源:DC24V
8. 超限报警:设置每个粒径档的上限颗粒数,超限报警。
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