电容式位移传感器
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精密电容式位移传感器
非接触式高分辨率近距离位移测量
MicroSense 公司（前身是ADE Technologies, KLA_TENCOR的子公司）开创了高辨率电容式位移传感器的先河，致力于为客户提供以艺术级别性能的高非接触式微位移传感器。
特性
1.完全非接触式电容式微位移测量—准确的电子感应技术, 无损样品测量
2.优化的近距离测量—测量距离在10微米到5毫米
3.高准确性，高灵敏性测量，可达0.5nm。
4.可探测任何可传导性、接地的测量目标—表面是否抛光以及材质对测量准确度无任何影响
5.用途广泛: 金属薄片厚度测量,振动测量,工作台垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)测量,精密马达转轴偏振测量(Axial, Radial, Spindle runout),精密仪器工作平台定 位，设备自动聚焦测量(微影设备，原子力显微镜，光罩探测，图像确认，LCD生产设备…)
测量表（Gauge）型号
测量探头(Probe)形状
圆柱型测量探头 45°倾角测量探头 矩型测量探头 直角型测量探头
圆柱型测量探头 探头直径0.5mm 到5mm 可选
45°倾角测量探头 可紧贴圆柱形被测物测量
矩型测量探头 测量马达及轴向转动物时可提供分辨率
直角型测量探头 用于测量受限空间测量
设备应用
定位测量系统应用 远程位置调节器的伺服反馈系统应用
间距和位移测量应用 空间测量及检测 轴向位移测量
转动测量系统应用 马达和转轴转动测量 转轴测量计校准测量 直线和平面平台精
度测量
厚度测量系统应用 磁性介质厚度测量 光盘厚度测量
自动聚焦和归零测量应用 半导体硅片测量
振动测量系统应用 样品台振动测量 转轴振动测量 主动性防震系统反馈测量
设备性能及主要参数
量程 ±25μm 到±1000μm满量程测量
分辨率 优于2 nm (r.m.s.) @ 1 kHz
带宽 1 kHz, 5 kHz, 20 kHz, 100 kHz 可选
非接触式高分辨率近距离位移测量
MicroSense 公司（前身是ADE Technologies, KLA_TENCOR的子公司）开创了高辨率电容式位移传感器的先河，致力于为客户提供以艺术级别性能的高非接触式微位移传感器。
特性
1.完全非接触式电容式微位移测量—准确的电子感应技术, 无损样品测量
2.优化的近距离测量—测量距离在10微米到5毫米
3.高准确性，高灵敏性测量，可达0.5nm。
4.可探测任何可传导性、接地的测量目标—表面是否抛光以及材质对测量准确度无任何影响
5.用途广泛: 金属薄片厚度测量,振动测量,工作台垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)测量,精密马达转轴偏振测量(Axial, Radial, Spindle runout),精密仪器工作平台定 位，设备自动聚焦测量(微影设备，原子力显微镜，光罩探测，图像确认，LCD生产设备…)
测量表（Gauge）型号
4800系列 8800系列 5800系列 6800系列 6360厚度测量系统
4800系列 以优化的线性和稳定性著称, 一款多功能测量设备
8800系列 以拥有的线性和稳定性系统著称，测量带宽高达20K HZ,纳米级分辨率，超低
噪声完美的伺服定位反馈系统设计
5800系列 以高动态测量著称--高分辨率测量，可达100Khz 带宽测量，可靠性测量甚至达触
地物例如气动转子和马达
6800系列 拥有皮米级别噪声分辨率
Mini系列 迷你压缩型传感器测量系统
6360系列 非接触式，高测量硅片、CD、DVD、光盘厚度
测量探头(Probe)形状
圆柱型测量探头 45°倾角测量探头 矩型测量探头 直角型测量探头
圆柱型测量探头 探头直径0.5mm 到5mm 可选
45°倾角测量探头 可紧贴圆柱形被测物测量
矩型测量探头 测量马达及轴向转动物时可提供分辨率
直角型测量探头 用于测量受限空间测量
设备应用
定位测量系统应用 远程位置调节器的伺服反馈系统应用
间距和位移测量应用 空间测量及检测 轴向位移测量
转动测量系统应用 马达和转轴转动测量 转轴测量计校准测量 直线和平面平台精
度测量
厚度测量系统应用 磁性介质厚度测量 光盘厚度测量
自动聚焦和归零测量应用 半导体硅片测量
振动测量系统应用 样品台振动测量 转轴振动测量 主动性防震系统反馈测量
设备性能及主要参数
量程 ±25μm 到±1000μm满量程测量
分辨率 优于2 nm (r.m.s.) @ 1 kHz
带宽 1 kHz, 5 kHz, 20 kHz, 100 kHz 可选
品牌/商标
MicroSense
企业类型
贸易商