一、设备名称：BAM-2000硅片自动装片机

二、数量：5台

三、结构特点：

1、外壳采用宝钢1.5㎜冷轧板经磷化处理后喷塑，外观简洁、流畅。

2、工作机器支架及硅片盒夹具均采用耐腐蚀经特殊亚光处理的不锈钢材料制作。

3、设备配置：磁力驱动水泵、容积为03.立方米水箱、硅片水床滑台、滚珠丝杆三工位升降花蓝座、高分辨伺服电机、可编程控制器、eao按钮。

4、125㎜～156硅片通用，节拍40-60/min。

5、手动调整、自动排片（需人工上料）。

6、设备全封闭设计，美观大方，一体式组合脚轮定位移动两便。

7、管路、水过滤器、阀门等管件均采用304不锈钢材料。

四、用途说明：

BAM-2000硅片自动装片机是根据光伏产业和国际半导体产业的发展及市场需求而开发研制的新型自动化设备，水床式三工位硅片装片机；装片75片，特有的花篮定位治具能适应6吋/8吋硅片的快速转换，操作简单，工作可靠。通过数控装置可靠地实现自动装片并有连锁保护、工况显示、故障报警等功能。

整机采用3工位立式升降结构，由伺服电机、滚珠丝杠系统实现传动。是光伏、半导体产业实现自动化装片、降低装片破损率、提高效能的生产型设备。

五、技术参数及要求：

1、功能描述：

①将切好的硅片以流量可调的水为介质柔性接触于硅片，利用水流动和斜面使硅片滑入料盒内，料盒由饲服电机驱动滚珠丝杆带动上移，使硅片准确的滑入三工位的料盒内。

②花蓝就位检测、硅片水床滑台、排片滞留报警、水流助推有效的避免硅片的破损，提高了排片的可靠性。

③人性化设计，水温可调，水流量可调适用于任何人员操作。

④软件三班制设计，密码输入确定班次，有效提高设备使用率。

⑤班次产量自动统计充分提高了生产效率。

2、适用性：快换花蓝治具，适应随时更换125×125mm 、156×156mm单晶硅片的装片。

3、工位数量：3工位（75片）

4、硅片规格：125×125mm 、156×156mm，厚度：200±20 um

5、分辨率：0.4 um /步

6、装片能力： 2400-3600片/小时

7、破片率：低于0.1%；

8、控制系统：PLC可编程序控制器，彩色触摸屏，交流伺服系统

9、电源：AC 220V±10% 50/60 Hz

六、安全

1、采用水工作状态监控，设有水位自动调节功能；
2、运行过程设有极限位置报警；

3、设有装料保护传感器，防止工位与滑片槽板的碰撞；
4、设备设有紧急停止及复位停止功能；
5、具有整机漏电保护装置和接地端子。

6、机电安全互锁。

七、附件、备件、易损件：

1、设备交付时，提供操作、调试维修的全套技术资料，包括操作和维修手册（2套）。维修手册中应含电路图、气路图、水管路图，并列出控制设备、控制元件、易耗品以及易磨损的部件名称、型号、规格、制造或供应商，以便用户可以随时修理与维护清洗设备。

2、提供设备上外购零部件供应商清单，和可替代的外购零部件名称、型号、规格、制造或供应商清单。

八、服务条件

1、从设备正常使用起，保修十二个月，并且在使用中如我们有技术疑难，供方应及时并提供技术支持.

九、验收：按设备出厂标准及以上要求验收。

联系人：陈尚茂
电话： 

网址：www.wxcd.com

无锡市彩登试验设备技术有限公司