分辨率 高真空(二次电子) 低真空(背散射电子) |
3.0nm(30kV), 8nm(3kV)
3.5nm(30kV) |
工作真空 低真空模式 |
3-500Pa
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电子光学工作模式 |
分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样 |
放大倍率 |
1.5x-1,000,000x |
加速电压 |
200V至30KV |
电子枪 |
钨灯丝 |
探针电流 |
1pA至2μA |
扫描速度 |
从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整 |
聚焦窗口 |
形状、尺寸和位置连续可调 |
扫描特性 |
动态聚焦,聚焦窗口,点和线扫描,倾斜校正,实时三维图像 |
图象尺寸 |
可达8192×8192象素,图像比例可选1:1、4:3或2:1 |
显微镜控制 |
通过触摸屏操作VEGA TC软件,所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现 |
自动程序 |
实时电子束追踪优化,束斑直径优化放大倍数,聚焦&消象散,对比度&亮度,扫描速度(根据信噪比),灯丝饱和调整,电子枪对中,光阑&透镜对中,真空控制,加速电压的补偿,灰度级调整。 |
远程控制 |
通过TCP/IP |
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样品室 |
内部尺寸 |
300mm宽×330mm深 |
门宽 |
280mm宽×310mm深 |
接口数量 |
12+ |
样品室减振方式 |
内置主动式电磁减振 |
+ 可根据客户需求调整接口数量和位置。 |
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样品载台 |
类型 |
全电脑化优中心 |
移动范围
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X=130mm——马达驱动
Y=130mm——马达驱动
Z=100mm——马达驱动
旋转:360°连续可调——马达驱动
倾斜:-30°到+90°——马达驱动 |
样品高度 |
145mm |
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软件 |
测量软件 |
图象操作 |
图象处理 |
3D扫描 |
硬度测量 |
多图校正 |
投影面积 |
打印放大倍率 |
关机定时器 |
公差测量 |
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形态学 |
颗粒度分析 |
自动抓图 |
图象观测 |
电子束写入 |
鼠标连接 |
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●标配 ○选配 |
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