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大连瑞闻科技有限公司为您提供、高质量美国MKS流量测量和控制产品!
DELTA 流量比例控制器能够是您获得的工艺性能,它具有以下显著特点:
1、广泛用于需要不同流量的分离设备,如刻蚀、去胶和PECVD等,可将目的气体按照设定比例输送到同一反应器的不同区域.
2、大量程范围的流量(500/500sccm到10,000/10,000sccm)可供选择.
3、该设备在工作中保持一个低于大气压的管道压力,因而通常不需要特殊的防漏措施。
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