M2030VA  M2030VA质量流量计  LINE TECH质量流量计    气体质量流量计  
LINE TECH自1997年成立后迈进了气体控制相关技术工程，终于诞生出今天的M系列，MFC/MFM产品。
   LINE TECH气体质量流量控制器和流量计广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入，直拉式晶炉，精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。
主要参数：
流量范围：               10-30(slpm)
响应时间：               ≤2
精    度：               ≤1%
重 复 性：               ±0.25
输出信号：               0-5vdc或4-20mA
供电电压：               15-28vdc 350mA
温度范围：               0-50℃
漏    率：               1×10负9次方atm.cc/sec
使用范围：               2-100% for max range

相关型号：
M3030V  M3030A  M3050V  M3050A  M3100V   M3100A  
M2030V  M2030A  M2050V  M2050A  M2100V   M2100A


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