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AWM2000系列为无源器件,包含两个惠斯通电桥;一个为闭环的发热控制电路,一个为双传感电路;检测小流量,无放大输出。
主要特点:
1)双向气流传感
2)实际气体质量流量传感器
3)流速0~30sccm到0~1000sccm
4)需另加发热器控制及传感桥路供电电路
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