质量流量控制器（大流量，常闭阀）

1559是一种通用型弹性密封的质量流量控制器，可在20slm(42.5cfh)到200slm(425cfh)量程范围进行气体的质量流量控制。相比于其它的大流量控制器，1559独有的控制阀门能够消除振荡、具有更好的响应时间。它的这个特点是通过使用一“平衡力”阀门的设计来实现的，它能够消除管道压力引起控制阀门内部的非平衡状态。1559的为全量程的±1％。

例：型号1559A00421LS1BV    

 采购序列号          

校准气体（SEMI气体编号）*

Helium, He                      001

Argon, Ar                004

Hydrogen, H2            007

Nitrogen, N2             013

Oxygen, O2               015

**校准流量SLM－sccm（相当氮气200SLM）

20                    021L  

50                    051L  

100                 12L  

200                 22L 

装配件（Y）

标配：Swagelok 0.5英寸管                       S   

选配：Swagelok^R8VCR^R凸接头                    R  

选配：Swagelok^R8VCO^R凸接头                     G   

阀

常闭                                1

电气/通讯连接器

模拟15针D                           B

密封（Z）

标配: Viton^R                           V  

选配: Neoprene^R                        N    

选配: BunaN                            B   

选配: Kalrez^RR                          K   

用于1559A的电缆线

CB259-5-10用来将1559连接至PR4000, 246, 247                                            

（如要在247上连接2个以上的通道，需要添加一个电源，请用CB1559-1-10）           

CB147-1-10用来将1559连接至146, 186, 647, 167                             

CB1559-1-M1用来连接1559A、247D和260PS