一、概述

 1、U21 系列单级减压器适用于非腐蚀性，腐蚀性，有毒气体。膜片和阀体的密封采用硬密封的设计,降低泄漏率，同
时提高了安全性和使用寿命。

2、结 构 特 点 Features
u  316L 不锈钢母体
u  膜片式硬密封，泄漏率低
u  可采用面板安装和后座安装
u  压力表标准连接： 1/4” FSR(M)
     可选：1/4” FSR (F)
u  内部电解抛光
u  高清洁的组装和包装将适用于高纯洁度的半导体产业
u  使用寿命长
u  100% 氦气测试
三、工 作 条 件 OpeRating Conditions
u  的入口压力：500 psi (35 bar), 3000 psi (206 bar)
u  出口压力：0- 25 psi (1.7 bar) , 0-50 psi (3 bar),
    0-100 psi (7 bar), 0-250 psi (17 bar),
    0-500 psi (35 bar)
u  温度： -40℃~74℃(-40℉~165℉)

四、材 质 Materials
u  母体：316L
u  阀座：PCTFE*, Vespel®
u  膜片：316L
u  上盖：316

五、流 道 表 面 Surface Finish
u   标准：Ra 20μin
u   可选：Ra 10μin
内部容积 Internal Volume
u   4.6 cc

六、功 能 特 性 Functional Performance
u  流量：Cv=0.14
u  母体泄漏率：2x10-8 atm cc/sec He
u  阀座泄漏率：4x10-8 atm cc/sec He
u  设计验证压力：额定压力的 150%
u  设计爆破压力：额定压力的 400%

              上海洁安流体科技有限公司  

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