平面平晶是以光波干涉原理为基础，利用平晶的测量面与试件的被测量面之间所出现的干涉条纹来测量被测量面的平面度。
*平面平晶用于检定量块的研合性和平面度以仪器和量具的测量面、工作面的平面度。亦可用于检定高的平面零件，例如，平面光学零件、平台、平板、导轨、密封件等。平面平晶特别适用于计量单位、实验室作为标准平面和样板。