Alicat 隆重推出首款双向质量流量控制器，可正向或反向控制流经气体的流量，或用于控制密闭系统内的流量而无需额外排气阀。通用性强的流量控制器：双向测量气体的质量流量、体积流量、压力和温度控制来自压缩气体或真空泵的气体的质量流量或体积流量控制流经气体的压力或背压控制密闭系统内压力(自带排气)22系列亦有 防腐蚀型号和 低压损型号可选。产品参数：可控制从-0.5 ～ +0.5 SCCM 到-3000 ～ +3000 SLPM的满量程的任何流量，量程可调比为200：1&重复性：±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.)   (注：该处F.S.为双向满量程之和)控制响应时间：＜100毫秒入口压力：145 Psig (22 & 防腐蚀型号)、50 Psig (低压损型号)2.1″ 英寸单色数字显示屏(可选配TFT背光彩色显示屏)兼容气体列表下列30种气体均含标定曲线图，兼容于所有标准的Alicat 质量流量计&质量流量控制器，用户可通过面板操作直接切换气体，无需因改变气体而重新标定设备。Air – 空气 Ne – 氖气 C-25 – 75% 氩气 + 25% 二氧化碳Ar – 氩气 O2 – 氧气 C-10 – 90% 氩气 + 10% 二氧化碳CH4 – 甲烷 C3H8 – 丙烷 C-8 – 92% 氩气 + 8% 二氧化碳CO – 一氧化碳 N-C4H10 – 正丁烷 C-2 – 98% 氩气 + 2% 二氧化碳CO2 – 二氧化碳 C2H2 – 乙炔 C-75 – 75% 二氧化碳 + 25% 氩气C2H6 – 乙烷 C2H4 – 乙烯 A-75 – 75% 氩气 + 25% 氦气H2 – 氢气 I-C4H10 – 异丁烷 A-25 – 75% 氦气 + 25% 氩气He – 氦气 Kr – 氪气 A1025 – 90% 氦气 + 7.5% 氩气 + 2.5% 二氧化碳 (Helistar A1025)N2 – 氮气 Xe – 氙气 Star29 – 90% 氩气 + 8% 二氧化碳 + 2% 氧气 (Stargon CS)N2O – 一氧化二氮 SF6 – 六氟化硫 P-5 – 95% 氩气 + 5% 甲烷