ZZS系列精密光学设备专门为精密光学薄膜器件镀膜生产而设计.各系统和总体结构满足了镀膜工艺要求.适用于增透膜.带通膜.截止膜等各种膜系的镀膜对于100层的超大膜系也能得到很好的满足.配置大坩埚电子枪,多种波形扫描系统.蒸发过程磨料表面平整,蒸发分布稳定.配石英晶体膜厚控制仪可实现成膜率和镀膜过程自动控制.总体结构设计合理.局部设计人性化方便操作者