多功能扫描探针显微镜（SPM）-原子力显微镜（AFM）平台
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仪器简介：
NTEGRA平台是一个革命性的技术概念，在拥有所有SPM技术：原子力/磁力/静电力/表面电势/导电原子/扫描电容/压电力/纳米刻蚀等功能的同时，还能配备近场光学显微镜/共聚焦拉曼/外加磁场/超声原子力/纳米压痕等功能！。Prima则是这个平台中的基础SPM，可以在此基础上根据科 研需求提供多达40 中SPM 功能，其中的每种功能都有一套在其领域有着杰出表现的独特配置。可选择配备的双扫描结构可以将扫描范围扩展到200x200um。
技术参数：
在大气环境下：扫描隧道显微镜/ 原子力显微镜(接触 +半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/力谱线/粘附力成像/磁力显微镜/静电力显 微镜/扫描电容显微镜/开尔文探针显微镜/扩展电阻成像/纳米压痕/刻蚀: 原子力显微镜(电压+力)/压电力模式/超声原子力/外加磁场/温度控制/气氛控制等功能。
在液体环境下：原子力显微镜(接触+半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/粘附力成像/力谱/刻蚀:
测量头部：AFM和SPM可选配液相模式和纳米压痕测量头
扫描方式：样品扫描、针尖扫描、双扫描
样品尺寸：样品扫描：直径40mm，厚度15mm。针尖扫描：样品无限制
XY样品定位装置：移动范围5×5um，5um
扫描范围：90×90×9um（带传感器/闭环控制），可选配低电压模式实现原子级分辨
XY方向非线性度：≤0.5%（带传感器/闭环控制）
Z方向噪音水平（带宽1000Hz时的RMS值）：闭环控制扫描器（典型值0.04nm，0.06nm）
光学显微系统：配备高数值孔径物镜后，分辨率可由3um提升至1um
样品温度控制：室温~300℃
主要特点：
Ntegra Prima 是一个基本的SPM 系统，在这平台上可以根据科研需要提供40 种SPM 功能。
Ntegra Aura 是一款能在气氛控制以及低真空环境下工作的SPM，专门用于电磁等测量。
Ntegra Therma 只有10nm/h 热漂移能长时间可靠工作，并且能在-30℃~300℃环境下测量。
Ntegra Maximus 能够测量100mm 的大样品，在半自动模式下可以连续工作。
Ntegra Solaris 是一款近场光显微镜，能够提供所有近场探测模式，从而突破衍射极限。
Ntegra Vita 能与倒置显微镜联用，专门用于生物方面的检测。
Ntegra Tomo 能与超薄切片机联用，且制备用于研究的纳米片层的新鲜表面（也适用于电镜）。
Ntegra Spectra 集成了AFM-SNOM-Confocal-Raman 从而实现针尖增强（TERS）
NTEGRA平台是一个革命性的技术概念，在拥有所有SPM技术：原子力/磁力/静电力/表面电势/导电原子/扫描电容/压电力/纳米刻蚀等功能的同时，还能配备近场光学显微镜/共聚焦拉曼/外加磁场/超声原子力/纳米压痕等功能！。Prima则是这个平台中的基础SPM，可以在此基础上根据科 研需求提供多达40 中SPM 功能，其中的每种功能都有一套在其领域有着杰出表现的独特配置。可选择配备的双扫描结构可以将扫描范围扩展到200x200um。
技术参数：
在大气环境下：扫描隧道显微镜/ 原子力显微镜(接触 +半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/力谱线/粘附力成像/磁力显微镜/静电力显 微镜/扫描电容显微镜/开尔文探针显微镜/扩展电阻成像/纳米压痕/刻蚀: 原子力显微镜(电压+力)/压电力模式/超声原子力/外加磁场/温度控制/气氛控制等功能。
在液体环境下：原子力显微镜(接触+半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/粘附力成像/力谱/刻蚀:
测量头部：AFM和SPM可选配液相模式和纳米压痕测量头
扫描方式：样品扫描、针尖扫描、双扫描
样品尺寸：样品扫描：直径40mm，厚度15mm。针尖扫描：样品无限制
XY样品定位装置：移动范围5×5um，5um
扫描范围：90×90×9um（带传感器/闭环控制），可选配低电压模式实现原子级分辨
XY方向非线性度：≤0.5%（带传感器/闭环控制）
Z方向噪音水平（带宽1000Hz时的RMS值）：闭环控制扫描器（典型值0.04nm，0.06nm）
光学显微系统：配备高数值孔径物镜后，分辨率可由3um提升至1um
样品温度控制：室温~300℃
主要特点：
Ntegra Prima 是一个基本的SPM 系统，在这平台上可以根据科研需要提供40 种SPM 功能。
Ntegra Aura 是一款能在气氛控制以及低真空环境下工作的SPM，专门用于电磁等测量。
Ntegra Therma 只有10nm/h 热漂移能长时间可靠工作，并且能在-30℃~300℃环境下测量。
Ntegra Maximus 能够测量100mm 的大样品，在半自动模式下可以连续工作。
Ntegra Solaris 是一款近场光显微镜，能够提供所有近场探测模式，从而突破衍射极限。
Ntegra Vita 能与倒置显微镜联用，专门用于生物方面的检测。
Ntegra Tomo 能与超薄切片机联用，且制备用于研究的纳米片层的新鲜表面（也适用于电镜）。
Ntegra Spectra 集成了AFM-SNOM-Confocal-Raman 从而实现针尖增强（TERS）