仪器简介：

采用制造工艺，可把平面纳米压印拓展到任意曲面。标准模板分为三类：Quartz Molds, Silicon Molds, Polymer Molds of 2"、3"、4"。适用于Obducat，Suss，HP，EVG等多种型号的纳米压印设备。

技术参数：

Delivery of nanoimprint templates in various materials (Si, SiNx, SiC, quartz,glass).Maximum area of the templates:4 inch with feature size of 100 nm. For smaller area, minimum feature size of 50 nm. 

提供各种材料的纳米压印模板（硅，氮化硅，碳化硅，石英玻璃）。模板尺寸：4英寸，特征尺寸为100nm。对于更小的尺寸，小的特征尺寸可以达到50nm。 
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Delivery of EBL service for various structures with the feature size down to 30nm.Substrates: any conducting or non-conducting wafers. 

提供30nm特征尺寸的各种结构的电子束刻蚀服务。基板：任何导电或者非导电晶片。 
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Micro and nanofabrications for all kinds of nanostructures in a Si, III-V, II-VI and polymers. 

各种纳米结构（硅，III-V族元素，II-VI族元素以及聚合物）的微纳米加工。

主要特点：

soft mold for thermal nanoimprint 热压印的软模板 

quartz mold for UV nanoimprint 紫外压印的石英模板 

silicon mold for thermal nanoimprint 热压印的硅模板