高压发生器

输入电压

24VDC±10%

输出电压

0-50kV

输出电流

0-2.0mA

输出

0.01%

备注

有自动软件侦测功能

X射线管

X射线管靶材

W靶、Rh、Mo、Ag、Cr靶材可选

X射线管窗口

尼龙窗

电气参数

50W、4-50kV，0-1000uA

冷确方式

硅脂冷却

使用寿命

h

探测器

检测范围

K¹⁹-U⁹²

分辨率

FWHM<760eV

探测窗口

铍窗，窗口面积：400mm²

镀层测厚指标

分析范围

0.01um—35um

层精密度/准确度

相对标准差5%以下（厚度大于0.5um时）

第二层精密度/准确度

相对标准差10%以下（厚度大于0.5um时）

谱处理系统

处理器类型

全数字化32-bit3 DSP

谱通道数

256，512，1024，2048可供选择

计数率

大于100000cps

能量范围

1400eV-40960eV

死时间

<3%

光路系统和样品观测

准直器系统

单一准直器φ0.2mm

对焦系统

激光激光对焦

滤光器

多种滤光器(Ni、Cu、Mo、Al、Ti)可供选择

样品观察系统

300万象素高清CCD摄像头，20倍光学变焦。

样品室

样品室内部空间（mm）

（宽×高×深）：450×160×400mm

样品台尺寸

（宽×深）：250×275mm

样品台承载重量

≤5kg

试验样品尺寸

宽×高×深：440×150×390mm。

样品台控制方式

简易手动样品台

工作台移动技术数据

X=200±5、Y=200±5、Z=160±5mm

工作台移动

0.02mm

计算机和软件

控制计算机

联想品牌机T4900V，512MB内存，80G硬盘

显示器

联想17寸LCD显示器

操作系统

WindowsXP、OEM简体中文版

结果

Word、Excel格式

软件

镀层测厚软件、元素分析软件

软件类型

FP基本参数法软件

软件语言

简体中文、繁体中文、英文、其它

谱显示

自动峰定性，KLM标记，谱重迭比较

谱处理

总强度，净强度，背景强度；全面积，净面积，多元素拟合，高斯拟合；倒数谱

资料分析

基本参数，基本谱图，无标样测试，峰位修正，底材修正

重量和尺寸

设备主体尺寸（mm）

宽×高×深：W 580×H 600×D 715mm

主体重量

约60kg

使用环境

工作环境

温度15-25⁰C，湿度40-70%RH

电源系统

单相220V±10%，工作电压在充许范围内

其它

1. 不要靠近产生强磁场，电场，高频等装置
2. 减少振动
3. 粉尘少，湿度低，无腐蚀性气体
4. 日光不能直射
5. 作为地震的对策，要考虑装置的固定