射频发生器(RF)
 （1）电路类型：电容三点式自激振荡电路。
 (2)工作频率：40.68MHz   
 (3)频率稳定性：<0．1％
 (4)输出功率：800-1200W
 (5)输出功率稳定性：≤0.3％ 
 (6)电磁场泄漏射强度：距机身30cm
  电场强度E：<2V／m
进样装置
(1)输出工作线圈内径25mm．3匝
(2)炬管：三同心型．外径20mm的石英炬管
(3)同轴型喷雾器外径6mm
(4)双筒形雾室外径34.5mm
(5)气路：
  ①等离子气流量计(100—1000)L／h  (1.6—16L/min)
  ②辅助气流量计  (10-100)L／h    (0.16—1.66L/min)
  ③载气流量采用质量流量计 由计算机控制   （0—5L/min）
分光器
(1)光路：Czerny—Turner
(2)焦距：  1000mm
(3)光栅规格：离子刻蚀全息光栅，刻线密度3600线／mm，刻线面积：80×1 10mm2
            (可选用刻线密度2400线／mm，刻线面积：80×1 10mm2)
(4)线色散率倒数：0 26nm/mm (刻线密度3600线／mm)
(5)分辩率：≤0.008nm (刻线密度3600线／mm)
(6)扫描波长范围：3600线／mm扫描波长范围：1 95—500nm
                2400线／ram扫描波长范围：1 95—800nm
(7)步进电机驱动小步距：0 0006nm
(8)出射、入射狭缝：20um
(9)反射镜规格：(78×105×1 6)mm
(1 0)透镜ф30，1：1成像
(1 1)分光器恒温装置：32。C±1。C
测光装置
(1)光电倍增管规格：R21 2UH或R928
(2)光电倍增管负高压：200—1000V稳定性<0.05％
(3)光电倍增管电流测量范围：1 0-4～1 0-9 A
(4)信号采集为V／F交换：  1 mV对应100Hz