为了满足对这类分析要求的需要,级X射线生产制造商—帕纳科公司近向市场推出了用于环境分析的能量色散X射线荧光光谱仪—Epsilon 5.该仪器采用了一系列新的、帕纳科独有的技术（X光管功率可达600W,X光管管压可达100KV。）使其成为目前世界上的能量色散X射线荧光光谱仪。

    该仪器有两大特点：制样简单，可以直接对固体、液体、粉末等进行分析，与传统的ICP、AAS分析方法相比，无须对样品进行前处理，大大提高了分析速度；重金属元素的检出限可以降低到亚ppm级,使其满足的任何标准都没有问题(如EPA IO-3.3、Weee & RoHS、ELV EN71等),并且将来标准进一步提高,也无需增加任何投资即可满足，投资,一步到位。
技术参数

分析元素范围：Na（11）－U（92）
激发电压：100kV
X光管功率：600W
二次靶: 多可安装15个
探测器: 超大面积高纯Ge
分辨率: <135ev

主要特点

? Gd靶材——采用稀土元素钆Gd为靶材，对于重元素的K系线激发效率非常高.

? 独有600W高压发生器——工作电压可达100kV，可以测量重金属的K线，从而使重金属的灵敏度大大提高。(传统的能谱仪和现有的波长色散型都只能测量重金属的L线,而K线的强度要比L线的强度高一个数量级)

? 三维偏振技术——利用三维偏振激发源，X射线管、偏振靶或二次靶与试样的几何布局是三维，使用偏振光或二次靶激发样品，提高了激发效率并大大降低了原级谱背景，从而降低了谱仪检出限。

? 二次靶技术——根据待测元素及试样的组成，选择的二次靶用作激发源，谱仪可提供多达15个二次靶(标准9个)。

? 滤光片——进一步降低检出限，可有多达5种供选择。

? 独有Ge探测器PAN-32——其超大探测面积30mm2和5mm厚度，检测X射线能量范围宽达0.7-100 keV，分辨率小于140eV,计数达到创记录200,000cps。其在原子序数20(Sc)到92(U)达到100%的转换效率。在高能量区(17keV以上)，其分辨率优于波长色散的晶体如LiF200的分辨率。