u     重合：±2μm

u     X Y线性：±(3+L/100)μm

u     Z线性：±(2.5+L/100)μm

u       验证：200mm-1mm-1μm光学尺校正（现场实测）

u       测量范围：300*200*100mm

u     位移解析：0.4μm

u     位移驱动：0.1μm

u       放大倍率：35－225X

u       光学成像：CCD优质成像方式（技术）

u       运动控制：伺服控制模式（技术）

u       用户文件：《仪器校准证书》

u       取边速度：3ms／per

u       平台尺寸：612×413mm