1、产品特点

● 采用双重闭环运动控制，电机在高速运动时具有的定位以及运动时的稳定性；
● 采用本公司开发的嵌入式模块控制电机，提高了电机响应速度，还简化了仪器与PC机的 接口，PC机与
仪器通过USB线和S端子线连接；
● 采用花岗石平台，外观简洁大方；
● 表面光由独立四十八组光源组成，每一组均 为恒 流源驱动，连续可调；
● 配有我公司专用的全自动测量软件Mclns，大大提高测量效率。

2、仪器规格参数

2.1 工作台

2.1.1 金属台尺寸：600×600mm

2.1.2 玻璃台尺寸：400×400mm

2.1.3 外形尺寸：770×590×1100mm

2.1.4 运动行程：300×300mm

2.1.5 仪器重量：200Kg

2.1.6 摄像机：日本SONY CCD

2.1.7 X、Y、Z数显解析度：0.001mm

2.1.8 X、Y坐标示值误差：≤(3+L/200)μm

3、仪器电源

3.1 使用电源：AC100V/220V

3.2 消耗功率：<100W（不包括电脑）