美国MKS1179A气体质量流量计MKS1479A质量流量计MKS2179A质量流量计MKS1559A质量流量计

美国MKS1179A质量流量控制器（通用型）
1179A是一种通用型弹性密封的质量流量控制器，可在多种应用场合测量和控制气体的流量，特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器，它还可以作为压力控制器使用。
对于当今市场上的质量流量控制器，1179A可作为直接替代的产品，标准的3英寸底座使1179能够直接进行安装而无需改变现有的气体管道。它具有数字和模拟两种模式，其为全量程的1%。
技术参数：
全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM。
控制量程：2% to 100% 的全量程。
测量：全量程的1%
灵敏度：全量程的0.1%
热机时间：小于2Min.

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美国MKS 2179A质量流量控制器（带截止阀）

 

2179A是一种通用型弹性密封的质量流量控制器，它带有一个关闭阀，可在多种应用场合测量和控制气体的流量。配上合适的压力传感器，它还可以用作压力控制器。

常闭的气密关闭阀门正向关闭时的泄漏量仅为4 x 10^-9 scc/sec（He）。它具有数字和模拟两种模式，其为全量程的1％和读数的1％。2179A具有很小的功耗：在常规直流±15V供电工作时，单元电流仅有100mA（在初开机阶段为200mA）。

 

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