PG15-J激光平面干涉仪
主要技术参数：
1、标准平面（A面），不镀膜。 工作直径：D1=Φ146mm，不平度小于0.02μm(λ/30)。
2、第二标准平面（B面），不镀膜。 工作直径：D2=Φ140mm，不平度小于0.03μm(λ/20)。
3、准直系统：孔径F/2.8， 工作直径：D1=Φ146mm，焦距：f=400mm
4、测微目镜：焦距f=16.7mm,放大倍数β=15X，视场角2w=40o，成像物镜：I、D=4.5；П、D=7；Ш、D=10，f=16，f=23，f=37
5、干涉室尺寸：深260*宽300*190mm。
6、光源规格：激光ZN18（He-Ne）。
7、仪器的外形尺寸：长*宽*高 350*400*720mm。
8、仪器重量：100公斤。