Zeta光学显微镜

三维成像及测量系统

• ·      样本本色三维成像
• ·      台阶高度，线、面粗糙度，角度和尺寸测量
• ·      高粗糙度、低反射率样品的测量
• ·      深槽和其它高纵横比面形貌特征的成像
• ·      薄膜厚度测量和DIC功能选项
• ·      多功能、操作简便的应用软件

由位于美国硅谷的Zeta仪器公司研制，Zeta 20 是一个集多种测量手段于一身的精密光学仪器。它体积小，功能强，使用方便，是解决用户三维成像和测量问题的有效工具。与市场上售价昂贵的同类产品相比，ZETA 20独特的三维成像技术能够更准确，更快速地对LED/PSS、太阳能电池、微流体导管等样品表面进行成像分析。非接触式测量加上零维护成本使得Zeta 20成为三维测量系统中性能价格比优的解决方案。

应用实例

1. LED/PSS（图形化蓝宝石基板）   高度、尺寸和间距的自动测量；蚀刻前后的基板表面测量

2.太阳能电池  AR薄膜厚度监控；HDR成像使得同时测量高反射率的栅线与极低反射率的氮化硅成为可能

3.生物科技/微流体   大视场三维成像；高纵横比深槽和其它复杂表面形貌特征的测量

4.精密研磨     钻石抛光垫等极粗糙表面的成像和测量

典型系统配置

显微镜系统

光源：高亮度白光LED

物镜：5x，10x，20x，50x，100x

耦合镜：0.5x

手动载物台：100mm x 100mm XY驱动范围

Z轴：30mm纵向驱动范围

数码相机：1024x768像素，1/3英寸CCD

计算机控制系统

CPU：英特尔®酷睿2双核处理器

内存：3GB

硬盘：320GB

显示器：22英寸宽屏LCD（1680x1050像素）