特点：

1.新型物镜采用的ExB设计。使用单检测器和超级ExB可以分别收集和分离单纯二次电子、混合二次电子及背散射电子的信号。

2.1KV低加速电压时保证有2.0nm的分辨率。

3.两种样品台可选：I型50㎜×50㎜小样品台或II型110㎜×110㎜大样品台。

4.包括涡轮分子泵在内的先进的真空系统。

5.便于用户使用的、基于图形用户界面的控制系统，包含多种自动功能，操作简易。