量仪工作原理　

　量仪通常由已知长度部分、定位瞄准部分、放大细分部分、显示记录部分以及计算部分等组成。量仪种类繁多，按工作原理可分为：①机械式量仪。如杠杆-齿轮式比较仪、扭簧比较仪和测微仪等。②光学量仪。如测微自准直仪、测角比较仪、平直度检查仪、立式光学计、卧式光学计、超级光学计、立式测长仪、测长仪、工具显微镜、投影仪、接触式干涉仪、激光干涉仪、激光干涉比长仪和光学分度头等。③电动量仪。如电动测微仪、静态光电显微镜、动态光电显微镜、光电准直光管、电感式比较仪、电容式比较仪、轮廓仪和圆度仪等。④气动量仪。如低压水柱式气动量仪、差压水柱式气动量仪、差压水银柱式气动量仪、高压薄膜式气动量仪、波纹管式气动量仪和流量式气动量仪（浮标式气动量仪）等。另外，量仪也可按用途等进行分类。量仪的评定方法^[1]主要有检定法、比对法和误差分离法等。

气动量仪测量原理

　　测量原理是比较测量法。其测量方法是将长度信号转化为气流信号，通过有刻度的玻璃管内的浮标示值，称为浮标式气动测量仪；或通过气电转换器将气信号转换为电信号由发光管组成的光柱示值，称为电子柱式气动测量仪。气动量仪是一种可多台拼装的量仪，它与不同的气动测头搭配，可以实现多种参数的测量。气动量仪由于其本身具备很多优点，所以在机械制造行业得到了广泛的应用。 其优点如下： 　　1、测量项目多，如长度、形状和位置误差等，特别对某些用机械量具和量仪难以解决的测量，例如：测深孔内径、小孔内径、窄槽宽度等，用气动测量比较容易实现。 　　2、量仪的放大倍数较高，人为误差较小，不会影响测量；工作时无机械摩擦，所以没有回程误差。 　　3、操作方法简单，读数容易，能够进行连续测量，很容易看出各尺寸是否合格。 　　4、实现测量头与被测表面不直接接触，减少测量力对测量结果的影响，同时避免划伤被测件表面，对薄壁零件和软金属零件的测量尤为适用。 　　5、由于非接触测量，测量头可以减少磨损，延长使用期限。气动量仪主体和测量头之间采用软管连接，可实现远距离测量。 　　6、结构简单，工作可靠，调整、使用和维修都十分方便。 　　可测量项目：内径、外径、槽宽、两孔距、深度、厚度、圆度、锥度、同轴度、直线度、平面度、平行度、垂直度、通气度和密封性 　　由气动长度传感器、指示器（表）、空气过滤器和稳压器等组成的长度测量工具。使用气动量仪可以进行不接触测量，测量效率很高。气动量仪适用于在大批量生产中测量内、外尺寸，也可用于测量孔距和轴孔配合间隙。用气动量仪测量时，需要按被测尺寸配以相应的测头

（图1） 　　气动内径测头结构简单,很适宜用于孔径测量。它可以测量直径为1.5毫米的小孔。气动量仪的示值范围较小,一般为±20～±100微米。按示值范围不同，常见的分度值有0.5微米、1微米和 2微米等几种。允许误差一般不大于一个分度值。气动量仪主要分为压力式和流量式两类。