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PVD1612真空镀膜机
价格：电议
地区：辽宁省
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沈阳威利德真空技术有限公司

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产品名称 PVD1612 数量
真空系统 1.预抽泵2x70旋片泵一台（南光）；
2.维持泵2x70旋片泵一台（南光）；
3.RTO·300S罗茨泵一台（上海萃曼）；
4.F400/3500分子泵三台；
5.阀门：前级阀、预抽阀、维持阀以上为GDQ100型不锈钢结构，GDZ400D/T髙阀为不锈钢结构；DDC-JQ80型电磁真空带充气阀为上海二阀产品，旁通阀为罗茨泵内安装阀；
6.不锈钢管道。		 1套
真空室 1.罐体材料为304不锈钢带夹层水冷套结构，内尺寸Φ1600x1200mm，内壁厚10mm，水冷套壁厚4mm，罐体抽气口两侧留六个弧源口，上盖板布置六对（12支）圆柱靶位（可与平面靶互换），其中两对预留；
2.挂杆2套；
3.内衬板2套；
4.布气管路。		 1套
偏压电源 脉冲逆变PLS30KW（珠海盛普） 1台
中频电源 中频逆变MF40KW（珠海盛普） 4台
弧电源 直流逆变DC160A（深圳瑞凌） 6台