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pvd1212真空镀膜机
价格：电议
地区：辽宁省
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沈阳威利德真空技术有限公司

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产品名称 PVD1212 数量
真空系统 *2X-30旋片泵一台（南光）；
*2X-70旋片泵一台（南光）；
*RTO·300S罗茨泵一台（上海萃曼）；
*K400T扩散泵二台（兰州真空）；
*阀门：前级阀、预抽阀、维持阀以上为GDQ100型不锈钢结构，GDZ400D/T高阀位不锈钢结构；DDC-JQ80型电磁真空带充气阀为上海二阀产品，旁通阀位罗茨泵内安装阀；
*不锈钢管道。		 1套
真空室 *罐体材料为304不锈钢带夹层水冷套结构，内尺寸Φ1250*1100mm，内壁厚8mm，水冷套壁厚4mm，灌体抽气口两侧预留八个弧源口，门两侧各布置一个圆柱靶筒，上盖布置两个圆柱靶法兰（预留）；
*挂杆两套；
*内衬板2套；
*布气管路；
*弧源挡板；
*二位五通电磁阀为德国BURKERT产品。		 1套
偏压电源 脉冲逆变PLS30KW（珠海盛普） 1台
中频电源 中频逆变MF40KW（珠海盛普） 2台
弧电源 直流逆变DC160A（深圳瑞凌） 8台