pvd1210A.真空镀膜机
价格:电议
地区:辽宁省
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产品属性
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产品名称 | PVD1210A | 数量 |
真空系统 |
1.2x30旋片泵一台(南光); 2.2x70旋片泵一台(南光) 2.RTO·300S罗茨泵一台(上海萃曼); 3.KT400扩散泵两台(兰州真空); 4.阀门:前级阀、预抽阀、维持阀以上为GDQ100型不锈钢结构,DDC-JQ65、DDC-JQ80型电磁真空带充气阀为上海二阀电磁阀,旁通阀为罗茨泵内安装阀; 5.管道为全不锈钢结构,罗茨泵、机械泵出口连接为波纹管连接。 |
1套 |
真空室 |
1.罐体材料为304不锈钢带夹层水冷套结构,内尺寸Φ1200x1000mm,内壁厚8mm,外壁厚4mm,上盖板布置2对(4支)磁控靶,罐体两侧预留一对平面靶孔位,抽气口两侧排布两组6支弧源,门上两个观察窗; 2.工件支杆2套?8mm; 3.内衬板2套; 4.布气管路; 5.放气阀加装空气滤清器; 6.转架为下转架,带屏蔽罩。 |
1套 |
偏压电源 | 脉冲逆变PLS30KW(珠海盛普) | 1台 |
中频电源 | 中频逆变MFMS-40KW(深圳新达) | 2台 |
弧电源 | 直流逆变DC160A(深圳瑞凌) | 6台 |