PVD1010A真空镀膜机
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地区:辽宁省
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产品属性
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产品名称 | PVD1010A | 数量 |
真空机组 | *2X-30旋片泵一台(成都南光) *2X-70旋片泵一台(成都南光) *RTO·300S罗茨泵一台(上海萃曼) *K-500T扩散泵一台(沈阳真龙) *阀门:GDZ500C高阀为不锈钢结构,前级阀、预抽阀为不锈钢结构GDQ100型,维持阀DDC65、压差阀DDC80为上海二阀电磁阀,旁通阀为罗茨泵内安装阀; *管道为全不锈钢结构。 *DB500冷阱为碳钢(沈阳真龙)。 | 1套 |
罐体 | *304不锈钢带夹层水冷套结构,内尺寸?1000X1000mm,两个平面靶,抽气口两侧分二列布置六个弧源位,门上两个观察窗。 *灯丝支杆一套; *工件支杆3套(36支),?8mm; *内衬板2套(厚度1mm); *布气管路; *放气阀加装空气滤清器 *转架为下转架,带屏蔽罩。 | 1套 |
偏压电源 | 脉冲逆变30KW(珠海盛普) | 1台 |
弧电源 | 直流逆变DC160A(深圳瑞佳) | 6台 |