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真空镀膜机
价格：电议
地区：辽宁省
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沈阳威利德真空技术有限公司

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产品名称 PVD1612G 数量
真空系统 1.2x70旋片泵三台（南光）；
2.RTO·300S罗茨泵一台（上海萃曼）；
3.TYFB-3600分子泵三台（泰岳恒）；
4.阀门：GDZ3X400A高阀（全不锈钢结构），前级阀、预抽阀、维持阀、截止阀以上均为GDQ100型不锈钢结构，DDC-JQ80型电磁真空带充气阀为上海二阀电磁阀，旁通阀为罗茨泵内安装阀；
5.管道为全不锈钢结构，分子泵出口为波纹管连接。		 1套
真空室 1.罐体材料为太钢SUS304不锈钢带水冷套结构，内尺寸Φ1600x1200mm，内壁厚10mm，上盖板布置8对（16支）磁控靶位孔位，对靶间距两工位，自转直径为?120或?180，抽气口两侧排布两组八支弧源，门上两个观察窗；
2.工件支杆1套，?8mm；
3.内衬板2套；
4.布气管路；
5.放气阀加装空气滤清器；
6.转架为下转架，带屏蔽罩。		 1套
偏压电源 脉冲逆变PLS50KW（珠海盛普） 1台
中频电源 中频逆变MF40KW（珠海盛普） 8台
弧电源 直流逆变DC160A（深圳瑞凌） 8台