INFICON UL1000型高灵敏度氦检漏仪:

    INFICON UL1000 型氦检漏仪尤其适用于元件检漏的要求，灵活性测试，高灵敏度，快速于的结果，快速启动，移动性和系统的可靠性。符合做微电子工业市场的要求。

一、产品应用：

1、半导体工艺设备的维护，该设备本身带或未带有真空泵

2、元器件在组装前的漏率测试

3、工艺气体系统的检测与安装

4、要求高抽速、高灵敏度以及清洁测试条件的应用场合

二、特性功能：

1、坚固的金属外壳并带有适用于洁净室的轮子，还有I-CAL（智能化漏率计算系统）,无与伦比的 噪声抑制滤波，柔性均值算法和漂移抑制功能。

2、可调用防止氦气或工艺气体污染的保护性功能。

3、用于消除在10-11至10-12超高灵敏漏率范围中长时间平衡的程序。

4、系统软件包含带有故障查找指令的先进自诊断程序。

5、UL1000的通风系统不会干扰通常清洁室中从天花板至地面的空气流动。

6、涡轮分子泵的抽速和压缩比可降低并消除氦污染。

三、技术参数：