ASM 122 D的改良概念来自新的真空技术（采用两台微型、精巧而强力的复合分子泵，真空推动阀门及多级膜片干泵等）。
    特别为各类维护工艺要求而设，配合健朗的设计，使用极为方便。
    为任何要求严峻的半导体，制药工艺及科研开发实验所的终选择。