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MicroSense电容式位移传感器
价格：电议
地区：广东省 东莞市
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               精密电容式位移传感器

                                                     
                                                     非接触式高分辨率近距离位移测量
MicroSense 公司（前身是ADE Technologies, KLA_TENCOR的子公司）开创了高辨率电容式位移传感器的先河，致力于为客户提供以艺术级别性能的高非接触式微位移传感器。
特性
1.完全非接触式电容式微位移测量—准确的电子感应技术, 无损样品测量
2.优化的近距离测量—测量距离在10微米到5毫米
3.高准确性，高灵敏性测量，可达0.5nm。
4.可探测任何可传导性、接地的测量目标—表面是否抛光以及材质对测量准确度无任何影响
5.用途广泛: 金属薄片厚度测量,振动测量,工作台垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)测量,精密马达转轴偏振测量(Axial, Radial, Spindle runout),精密仪器工作平台定  位，设备自动聚焦测量(微影设备，原子力显微镜，光罩探测，图像确认，LCD生产设备…)


测量表（Gauge）型号

             
          4800系列         8800系列          5800系列         6800系列     6360厚度测量系统  


4800系列    以优化的线性和稳定性著称, 一款多功能测量设备

8800系列    以拥有的线性和稳定性系统著称，测量带宽高达20K HZ,纳米级分辨率，超低
                     噪声完美的伺服定位反馈系统设计

5800系列    以高动态测量著称--高分辨率测量，可达100Khz 带宽测量，可靠性测量甚至达触
                     地物例如气动转子和马达 
   
6800系列    拥有皮米级别噪声分辨率 

Mini系列      迷你压缩型传感器测量系统

6360系列      非接触式，高测量硅片、CD、DVD、光盘厚度

        
测量探头(Probe)形状

                       
   圆柱型测量探头 45°倾角测量探头 矩型测量探头   直角型测量探头

         
圆柱型测量探头  探头直径0.5mm 到5mm 可选

45°倾角测量探头  可紧贴圆柱形被测物测量 

矩型测量探头  测量马达及轴向转动物时可提供分辨率

直角型测量探头 用于测量受限空间测量 
设备应用


定位测量系统应用  远程位置调节器的伺服反馈系统应用 
                                                                           
 间距和位移测量应用    空间测量及检测  轴向位移测量
                            
 转动测量系统应用  马达和转轴转动测量  转轴测量计校准测量  直线和平面平台精

                                     度测量
                                                                                                                     
厚度测量系统应用  磁性介质厚度测量 光盘厚度测量

自动聚焦和归零测量应用   半导体硅片测量 

振动测量系统应用   样品台振动测量 转轴振动测量 主动性防震系统反馈测量

设备性能及主要参数
量程  ±25μm 到±1000μm满量程测量

分辨率  优于2 nm (r.m.s.) @ 1 kHz
带宽 1 kHz, 5 kHz, 20 kHz, 100 kHz 可选


详情可见网站：https://www.dymekchina.cn/