测震系统的详细信息

    这一系列的产品都有两个空气压缩振荡器；水平方向和垂直方向。使用MAPS系列产品，可以体会到卓越的除震(主动抑制振动)和保持精密位置的性能。

主要特征：

隔振频率范围是被动系统无法实现的；
大负载，可以为一个10 吨以上的设备提供防震；
的位置重复性能；
容易安装；
高性能，但价位较高；

主要应用：

纳米科技领域
例如：MEMS应用，原子力显微镜，原子成像设备等
半导体、液晶制造或检测领域
例如：半导体传送设备，半导体加工设备，液晶检测仪器等
航空、航天、航海等特殊领域
MAPS系列规格（MAPS Series specificaiton）参数MAPS-008MAPS-016MAPS-033MAPS-065MAPS-130MAPS-240固有频率200Hz以下隔振方式空气弹簧阻尼方式可调阻尼孔桌面水平方式自动保持桌面水平，重复位置±50um负载（Kg）400-80-24500尺寸（mm）235*235*130296*296*140350*350*150450*450*190600*480*190700*600*267螺孔间距（mm）218*218276*276320*320420*420470*430560*560螺孔直径（mm）重量（Kg）134263110180230供给气压0.40-0.70MPa平均消耗45-65(L/Min)120-170(L/Min)消耗120(L/Min)300(L/Min)电压100-240V功率400W450W温度0-40℃湿度35%-85%RH隔振性能参照transmissibility曲线自由度6© 2005 Shanghai Photroland Tec&Inf Co.,LTD. All Rights Reserved.上海芬创信息科技有限公司
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