美国MICROVU测量仪
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图文详情
产品属性
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型号 |
501 UM / 501 UC |
502 UM / 502 UC |
量测行程 |
400 x 500 x 160 mm |
400 x 500 x 250 mm |
外形尺寸 |
1100 x 1200 x 1550mm |
1100 x 1200 x 1650mm |
重量 |
860kg |
900kg |
XY 移动速度 |
700 mm/s | |
XY 加速度 |
1400mm/S2 | |
Z 移动速度 |
150 mm/s | |
Z 加速度 |
500mm/S2 | |
光学尺分辨率 |
0.1μm | |
XY |
2.5 + L/200 |
2.8 + L/200 |
Z? |
2.5 + L/100 |
3.0 + L/100 |
镜头倍率(光学,数字) |
36x(12x, 3x) | |
放大倍率 |
15x-540x to 30x-1080x | |
表面光, 轮廓光,同轴光光源 |
红光LED (黑白系统) 白光 LED(彩色系统) | |
承载重量 |
100kg | |
电源系统 |
93-264 VAC,47-63 Hz | |
工作温度 |
20℃±2° | |
存放温度 |
-25℃ ~ 60℃ | |
工作湿度 |
30%-80% |