类型	薄膜测厚仪	品牌	OTSUKA
型号	FE-5000S	测量范围	0.1nm ~ 1000nm（mm）

400波長以上的多頻分光法，迅速量測出橢圓偏光光譜。

自由變換反射量測角度，可得到更詳細的薄膜解析數據。反射角度自動可變的量測方式，對薄膜量測有更高的分析。搭載有薄膜解析所需的全角度同時量測功能。量測晶圓與金屬表面的光學常數（n:屈折率，k:衰減係數）。

分光膜厚儀系列

橢圓偏光儀 FE-5000反射式膜厚量測儀 FE-3000
膜厚光譜分析儀系統 MCPD series
膜厚分析儀FE-300

橢圓偏光量測（tanΨ,cosΔ）光學常數分析（n:屈折率，k:衰減係數）膜厚分析

樣品對應尺寸100 × 100 mm量測方式迴轉檢光法入射/反射角度範圍45 ~ 90°入射/反射角度驅動方式反射角度自動可變式波長量測範圍300 ~ 800 nm分光元件Poly-chrometer尺寸650（H）×400（D）×560（W）mm重量約50kg