3D CT实时成像检测系统
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OREL 3D CT 固定射线检测系统可用于微电子产品,特别是对无线电电子产品的缺陷检测。
OREL 作为一个缺陷检测系统可用于检验多层 PCB 产品,亦可用作 BGA 和 μBGA 装置。
3D-CT 系统是 OREL 的升级版。
技术参数:
几何放大率 |
2000 倍 |
样品尺寸 |
500 x |
像素 |
10 micron |
高压范围 |
20 – 150kV |
阳极电流范围 |
60 – 120 mkA |
控制模式 |
自动 / 手动 |
显像屏尺寸 |
300 x |
对焦系统 |
全自动电磁 |
系统尺寸 |
1331 x 1306 x |
系统重量 |
|