MKS 2179A气体质量流量计MKS气体质量流量计

MKS 2179A是一种通用型弹性密封的质量流量控制器，它带有一个关闭阀，可在多种应用场合测量和控制气体的流量。配上合适的压力传感器，它还可以用作压力控制器。

常闭的气密关闭阀门正向关闭时的泄漏量仅为4 x 10-9 scc/sec（He）。它具有数字和模拟两种模式，其为全量程的1％和读数的1％。2179A具有很小的功耗：在常规直流±15V供电工作时，单元电流仅有100mA（在初开机阶段为200mA）。

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