第十代DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）

布鲁克 DektakXT 台阶仪（探针式表面轮廓仪）是一项创新性的设计，可以提供无与伦比的重现性，重现性低于5?。台阶仪这项性能的提高达到了过去四十年Dektak技术创新的顶峰，更加巩固了其行业地位。通过整合其行业产品，DektakXT实现了性能。操作简易，从研发到质量控制都有更好的过程控制。整合了技术突破到第十代Dektak台阶仪能够在微电子，半导体，太阳能、超高亮度发光二极管（LED）、医学、材料科学等行业实现纳米级表面形貌测量。

DektakXT

Specifications规格

测量技术 探针轮廓技术

测量功能 二维表面轮廓测量

可选三维测量/

样品视景 可选放大倍率, 1 to 4mm FOV

探针传感器 低惯量传感器 (LIS 3)

探针压力 使用LIS 3传感器：1 至 15mg

低作用力（选配） 使用N-Lite+低作用力传感器：0.03至 15mg

探针选项 探针曲率半径可选范围： 50nm至25μm

高径比 (HAR)针尖：10μm x 2μm和200μm x 20μm;

可按客户要求定制针尖

样品X/Y载物台 手动 X-Y 平移：100mm (4 英寸)

机动X-Y 平移：150mm (6 英寸)

样品旋转台 手动，360°旋转;

机动：360°旋转;

计算机系统 64-bit 多核并行处理器, Windows? 7.0; Optional 23英寸平板显示器

软件 Vision64操作及分析软件；

应力测量软件；悬臂偏转；

缝合软件；三维扫描成像软件

减震装置 减震装置可用

扫描长度范围 55mm (2英寸)

每次扫描数据点 多可达120,000数据点

样品厚度 50mm (2英寸) 晶圆尺寸 200mm (8英寸)

台阶高度重现性 <5?, 1σ在1μm台阶上

垂直范围 1mm (0.039英寸)

垂直分辨率 1? ( 6.55μm垂直范围下) 输入电压 100 – 240 VAC, 50 – 60Hz

温度范围 运行范围20 到 25°C (68到77°F)

湿度范围 ≤ 80%, 无冷凝

系统尺寸及重量 455mm W x 550mm D x 370mm H  (17.9in. W x 22.6in. D x 14.5in. H); 34公斤(75磅);

附件：550mm L x 585mm W x 445mm H (21.6in. L x 23in. W x 17.5in. H); 21.7公斤(48磅)