■高（设定点为基准）MFC的线性度将由近似多项式曲线进行补偿。这帮助实现了对所有流量控制范围的高控制。为了实际气体流量的准确性进一步提高，各种工艺气体的校准数据将按照HORIBA STEC标准的气体测量系统进行校验。
■全流量范围的高速响应 （新的可变PID运算法则：1秒高速响应） SEC-N100 系列搭载了新开发的“可变PID系统”，对于所有设置点它可以实现1秒内的高响应速度。当您改变标定满量程和气体种类时，可变PID将根据当下的设定点不断变化，其PID参数也将随之被优化。
■多气体，多量程的解决方案 专用的软件赋予用户可以自由更改规格的能力 新的多气体、多量程系统使用户自由变更气体种类和量程成为可能。