产品特点：

1：数控（也可手摇式）操作，可切换快速移动
2：底光和表面光手动可调
3：接触式探针
4：采用1/3”CCD摄像头
5：物镜倍率0.7X—4.5X
6：光栅尺分辨率1um

仪器参数：

操作方式：手动/自动 手动/自动
行程(XY)(mm）：150*100*100 300*200*150
调焦(z) (mm)： 100 150
光学尺分辩率： 1μm
重复： ≤3μm
综合误差： 3.5+L/100μm
载物台尺寸(mm)： 240*140 360*240
承载重量(kg)： 15 40
外型尺寸(mm)： 460*460*680 600*800*800
仪器重量 (kg)： 100 200