产品简介：

    该MicroSpy型产品是一款用于物体表面2D或3D的非接触式测量的，且物美价廉的单传感器光学表面形貌仪。该设备不仅可用于研发部门，同样也可以用于医疗技术、汽车、半导体、PV、微机电、光学等工业生产控制中。

测量原理：

    MicroSpy表面形貌仪使用色差来判断距离（chromatic distance measurement）的测量原理。通过一个对波长很敏感的焦距测量头，设备将白光聚焦于待测物体表面。物体表面散射光的光谱在分光计上产生一个峰值，然后该波长的峰值就被用于检测样品表面的高度。该测量设备可以用于检测透明性、高反射性甚至是吸光性材料的表面形貌。

基本参数：
● 测量系统参数：
    测量原理：干涉法测量/反射法测量
    系统设计：显微镜配合X、Y方向平台，干涉或反射传感器，带照明的面阵CCD
    样品定位：精密的145mm×145mm的可电动调节平台，移动范围50mm×50mm(X、Y)
    镜头调节：手动的粗调加细调的调节方式，上下调节的范围为80mm
    仪器尺寸：58cm×25cm×40cm(高，宽，长)
    整机重量：20Kg
    供电电源：100－240V，50-60Hz，220W

● 薄膜厚度传感器选择：
                 FTR VIS     FTR NIR     FTR  VIS/NIR    FTR UV/VIS    FTR UV/VIS/NIR
    测量范围： 50-20μm   70-70μm    50-100μm      10-20μm     10-70μm
    膜厚分辨率： 1nm
    横向分辨率： 不使用额外光学器件200μm-800μm (使用额外光学器件优于10μm)
    测量角度： 90o±5o 
    工作距离：约5mm
    波长范围： 400-850nm   650-1100nm     400-1100nm      250-850nm       250-1100nm
    光        源： 卤素灯        卤素灯        卤素灯        氘灯        氘灯  

● 标准膜厚传感器选择：
              CWL FT 10μm³       CWL FT 10μm³      CWL IR 500        CWL IR 1000 
    测量范围：   3-8μm             3-8μm             34-1900μm          60-3500μm
    膜厚分辨率： 10nm            10nm                 100nm                 100nm           
    横向分辨率：  5μm              20μm             6.5μm             6.5μm
    测量角度：   90o±10o         90o±5o            90o±7o              90o±7o 
    工作距离：   9.5mm                27mm                19.4mm             19.4mm
    光        源：  LED(白光)              LED(白光)           IR-LED(1300nm)    IR-LED(1300nm)

● 软件包
    数据采集软件： 操作简单，样品表面实时成像图片，自动操作
    数据分析软件： 分析2D及3D表面的膜厚及形貌，并可建立评估函数
    实   验   报  告： 用户可自定义样式，及用户可根据使用者的输入情况自行输入额外的信息