产品简介：

    该款表面轮廓仪用于测量物体材料的光学性能、薄膜厚度及表面形貌，尤其是在半导体及平板显示器行业中，它能对其微细模式化进行调整。K-MAC的3D形貌仪，OV-SPI500， 它使用白光扫描干涉法来进行高效率的非接触、非破坏式测量。高重复性及较少的测量时间使得OV-SPI500很适合于实时的过程监控，其测量结果通过一个垂直分辨率为纳米级的探头来进行3D的图形匹配并显示出来。尤其是该设备将薄膜厚度、折射率及尺寸测量集合于一体，这就使得OV-SPI500能应用于多种测量场合中。

产品特点：

● 使用光谱反射计的光学测量原理

● 膜厚、折射率、尺寸测量集合于一身

● 非接触、非破坏式测量

● 2D及3D的图形数据显示

● 能够用于实时测量

● LED光适配器

● 亚纳米级的垂直分辨率

● 能够应用于半导体、平板显示板、电子材料等行业

基本参数：

● 3D测量：
     扫描范围：100μm (扩展型的扫描范围可达200μm)
     垂直分辨率：0.1nm
     横向分辨率：在50×透镜下，为0.2μm (像素分辨率)
     可是测量面积(FOV)：940μm ×710μm  (5×透镜，即0.5×套管透镜 10×干涉透镜)
     晶片尺寸：4''~12"
     3D CCD：8位
     透镜：10×、20×、50× (套管镜头，0.5×、1×、1.5×)

● 薄膜厚度测量：
      波长范围：400nm-800nm
      理论分辨率：1nm
      光斑尺寸：40μm (M5×)、20μm (M10×)、10μm (M20×)
      测量速度：小于 2秒/点 (不移动)
      测量范围：100?-35μm (取决于材料类型)
      多层测量：±5? at 5000?