在检修频谱分析仪时，首先一定要注意采取静电防护措施，因为人体容易带静电，静电放电会导致电子元器件损坏，因此在从事检修仪器前要事先放电或带接地手环；再就是引起某个故障产生的原因有多种因素，要遵循由易到难进行分析排查，有利于快捷修复仪器。
　　1、黑屏
　　造成黑屏的原因一般来说电源出故障的几率最高，因此先确定电源是否正常。频谱仪普遍采用开关电源，可利用开关电源的一般检修方法进行排除修复。若电源无问题，还有比较常见的原因是高压电路故障，在这里着重介绍一下频谱仪的液晶显示屏，液晶显示器发出的来光是它内部灯管发出的，灯管特性类似于家用日光灯，但它正常工作时需要400?800 V的高压，若灯管不亮，就先用高内阻万用表测试高压是否有故障，若高压正常，则更换灯管；否则就是高压逆变电路故障。
　　2、已保存的测试数据在使用时无法调用
　　频谱分析仪具有对测试的频谱数据结果进行保存和随时调用功能，如果已保存的频谱数据无法调用，主要原因是由于频谱仪数据存储空间的限制，存储文件数据超出存储空间时，新数据就无法再保存进去，因此虽然文件显示已保存成功， 但文件列表中并没有记录，造成无法调用，这时必须将原有的旧文件删除， 保存的频谱数据调用就能正常。
　　3、开机后自检不过
　　现代频谱分析仪都带有微处理器，其自身对故障可进行诊断，在检修时可充分利用其这个功能，便于快速判断故障出处。若自检不过，根据出错提示信息，大致可判断问题所在，再对相关电路原理进行分析，能够比较快的找到故障点，然后采取相应的措施排除故障。
　　4、全波段信号测试幅度不准确
　　不管是步进衰减器故障、本振电路故障、变频器或者后续信号处理各个电路故障，均可造成全波段信号测试幅度不准确，因此对此故障的诊断最好用分段排除法，即用一台合适的微波信号源作为被测信号，再用一台频谱仪作为测试仪，从信号输入端开始，对每一级电路输入信号和输出信号的幅度进行测试，査找反常现象，判断故障出处。若步进衰减器故障，一般情况比较常见的原因是由于衰减器触点接触不良或模块损坏，导致插损异常，引起测试幅度不准确，解决办法是清洁触点进行修复或者更换模块。要是本振电路故障，可在本振电路的参考环、取样环、耦合器、隔离器、放大器等端 口进行检查测试，对损坏的器件进行更换修复，必要时更换整个部件。而对于变频器常见故障是变频器件损坏或者是信号传输故障，用清理虚焊点和调谐耦合电容方法可排除信号传输故障。
　　5、GPIB不工作
　　首先检査GPIB电缆的连接是否正确以及电缆的好坏，再査看GPIB地址的设置有无问题。在出厂时，频谱仪地址均有设置，一般在“配置”菜单的“频谱仪地址”中査看GPIB地址。
　　6、2.95GHz以上信号不能测试
　　2.95GHz以上频率属于高频段信号，由于低频段测试正常，说明步进衰减器、第二、三变频器和后续电信号处理各个电路均正常，那么通过原理框图可得出判断，此故障产生的原因可能有二个：射频开关故障、第一变频器的谐波混频器故障。若射频开关自身损坏更换射频开关即可，若是射频开关驱动电路故障造成不能转换，则检修方法同一般电路的是同样的。用此分析方法同样可检修低频段故障。