激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。
    1.维护保养说明:
    1.1.仪器运输要求
    不用设备时需将激光器出光 前盖，旋转 90 度，防止外部粉尘进入激光头内部。
    对仪器要小心轻放，避免强烈的冲击震动。
    1.2.仪器保存要求
    附件应统一放在附件箱，需防撞、防划伤。
    激光干涉仪要设置专库存放，环境要求干燥、通风、防震、防雾、防尘、防锈。仪器应保持干燥。
    各种仪器均不可受压、受冻、受潮或受高温，仪器箱不要靠近火炉或暖气管。
    保持光学镜的干燥、清洁。不可拆卸，不可手摸。
    1.3.光学镜维护
    尽量不要去擦拭仪器的反光镜、分光镜等，如必须擦拭则应当使用无磨蚀性镜片纸和眼睛清洁布轻轻擦拭。
    清洁时使用适合眼睛的清洗液或类似的清洁剂，严禁丙酮擦拭。