往复式真空泵的主要部件有气缸及在其中做往复直线运动的活塞，活塞的驱动是用曲柄连杆机构来完成的。往复式真空泵的主要缺点是结构复杂，体积较大，运转时振动较大等往复式真空泵，又名活塞式真空泵，属于低真空获得设备之一。与旋片式真空泵相比较，它能被制成大抽速的泵；与水环式真空泵相比，效率稍高。

　　1、当活塞达到最右位置时，气缸内就完全充满了气体。接着活塞从右端向左端运动，此时吸气阀5关闭。气缸内的气体随着活塞从右向左运动而逐渐被压缩，当气缸内气体的压强达到或稍大于大气压时，排气阀被打开，将气体排到大气中，完成一个工作循环。

　　2、当活塞再自左向右运动时，又吸进一部分气体，重复前一循环，如此反复下去，直到被抽容器内达到某一稳定的平衡压力为止。这类泵的主要缺点是结构复杂，体积较大，运转时振动较大等。其在很多场合可由液环式真空泵所取代。

　　3、运转时，在电动机的驱动下，通过曲柄连杆机构的作用，使气缸内的活塞做往复运动。当活塞在气缸内从左端向右端运动肘，由于气缸的左腔体积不断增大，气缸内气体的密度减小，而形成抽气过程，此时容器中的气体经过吸气阀进入泵体左腔。