电容式传感器是以各种类型的电容器作为传感元件，将被测转物理量或机械量换成为电容量变化的一种转换装置，实际上就是一个具有可变参数的电容器。以下是它的特点：

　　1、温度稳定性好

　　电容式传感器的电容值一般与电极材料无关，这有利于选择温度系数低的材料，又因本身发热极小，影响稳定性甚微。

　　2、结构简单

　　电感式传感器结构简单，易于制造和保证高的精度，可以做得非常小巧，以实现某些特殊的测量

　　能工作在高温，强辐射及强磁场等恶劣的环境中，可以承受很大的温度变化，承受高压力，高冲击，过载等

　　能测量超高温和低压差，也能对带磁工作进行测量。

　　3、动态响应好

　　电感式传感器由于带电极板间的静电引力很小(约几个10^(-5)N)，需要的作用能量极小。

　　由于它的可动部分可以做得很小很薄，即质量很轻，因此其固有频率很高，动态响应时间短，能在几兆赫兹的频率下工作，特别适用于动态测量。

　　由于其介质损耗小可以用较高频率供电，因此系统工作频率高。它可用于测量高速变化的参数。

　　4、可以非接触测量且灵敏度高

　　可非接触测量回转轴的振动或偏心率、小型滚珠轴承的径向间隙等。

　　当采用非接触测量时，电容式传感器具有平均效应，可以减小工件表面粗糙度等对测量的影响。